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      激光干涉儀

      發(fā)布時間:2012-08-23   點擊率:1780

              機(jī)關(guān)干涉儀可對機(jī)床、三測機(jī)及各種定位裝置進(jìn)行精度的(位置和幾何)精度校正,并可完成按標(biāo)準(zhǔn)測量各項參數(shù),如線形位置精度、重復(fù)定位精度、角度、直線度、垂直度、平面度以及平行度等。其次,它還具有若干為機(jī)床廠和商戶所歡迎的選擇功能,如自動螺距誤差補(bǔ)償(使用大多數(shù)控系統(tǒng))、機(jī)床動態(tài)性測量與評估、回轉(zhuǎn)坐標(biāo)分度精度標(biāo)定、觸發(fā)脈沖輸入輸出功能等。

           機(jī)關(guān)干涉儀的功能有一下幾方面:

      1.自動螺距誤差補(bǔ)償  該儀器不僅能自動測量機(jī)器的位置精度,而且還能通過RS232接口使計算機(jī)和數(shù)控系統(tǒng)實現(xiàn)通信,對誤差進(jìn)行自動補(bǔ)償。它比普通的手工補(bǔ)償方法節(jié)省了大量的時間,同時可最大限度地選用被測軸上的補(bǔ)償點數(shù),使機(jī)床達(dá)到最佳精度。

      2.回轉(zhuǎn)坐標(biāo)精度標(biāo)定  會裝坐標(biāo)分度精度定可對數(shù)控轉(zhuǎn)臺在任意角度位置,以任意測量間隔進(jìn)行自動測量機(jī)補(bǔ)償,器精度±1rad

      3.機(jī)床動態(tài)性測試與評估。利用RENISHAV動態(tài)特征測試與評估軟件,可用干涉儀進(jìn)行機(jī)床震動測試與分析(FFT)、滾珠絲桿的動態(tài)性分析,伺服驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析,導(dǎo)軌的動態(tài)性(低速爬行)分析等,從而幫助用戶對機(jī)器進(jìn)行分析。

      4.觸發(fā)脈沖輸入、輸出功能,利用觸發(fā)脈沖輸入,可實外部控制激光干涉儀記錄數(shù)據(jù),從而可實現(xiàn)類似于機(jī)關(guān)絲桿動態(tài)精度檢查儀的功能或機(jī)床傳動鏈精度檢查功能。利用觸發(fā)脈沖輸出,可用激光干涉儀定時或定距發(fā)出脈沖,從而實現(xiàn)類似于激光光刻機(jī)的功能。

      6.雙軸同步準(zhǔn)系統(tǒng)。在某些機(jī)器眾,某一軸線運(yùn)動由雙驅(qū)和雙反饋系統(tǒng)控制(如空門銑床和大型龍門移動的機(jī)器等)在這種情況下,雷尼紹雙軸校準(zhǔn)軟件可在一臺計算機(jī)上連接并控制兩個接口卡,提供了同步自動采集兩平行軸數(shù)據(jù)的能力,從雙軸上采集的數(shù)控同時顯示在PC上,并根據(jù)要求存儲起來,然后分別加以分析或進(jìn)行雙軸誤差補(bǔ)償。

      7.其它用戶接口裝置。可用雷尼紹公司提供的特殊接口軟件,對于現(xiàn)有某些品牌的電子水平儀或數(shù)字指示儀器的用戶,配合雷尼紹激光干涉儀校準(zhǔn)軟件,實現(xiàn)直線度、平面度及垂直度等幾何精度的檢測,從而節(jié)省用戶投資費(fèi)用。

       

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